광전자 분광기

광전자 분광기 (X-ray Photoelectron Spectrometer)

 

 

 

◦ 기기사양
제작회사: Thermo Fisher Scientific(UK)
모 델 명: Multilab-2000
Operation Mode: CAE and CRR
Energy Analysis Range: 0 to 2,500eV
X-ray source: Twin Anode(Al Ka, hv=1486.6eV) Gun and Monochromatic Gun

◦ 기기원리
X-ray Tube에서 조사된 X-선에 의해 시료 표면(-수 nm 층)의 원자속의 전자들이 운동에너지를 갖고 방출되며 이때의 전자의 운동에너지를 측정하여 원래 위치하던 궤도와 결합에너지를 알아내어 정성분석을 할 수 있다. 또한 시료표면의 etching에 의해 깊이별 조성분석(Depth Profiling)도 가능하다.

◦ 주요용도
•각종 시료의 극표면층의 구성성분 분석, 산화상태 분석, 깊이별 조성분석

사업분야